Dépôt par pulvérisation cathodique de magnétron dans le champ de film fonctionnel
Applications
| Applications | But spécifique | type de materiau |
| Film fonctionnel | Film super dur | TiN, TiC |
|
Film opaque |
Cr, AlSi, AlTi, etc. | |
| Film résistif | NiCrSi, CrSi, MoTa, etc. | |
| Film supraconducteur | YbaCuO, BiSrCaCuo | |
| Film magnétique | Fe, Co, Ni, FeMn, FeNi, etc. |
Principe de fonctionnement
Il existe de nombreux types de pulvérisation magnétron avec différents principes de fonctionnement et objets d'application.Mais là
a une chose en commun : il fait courir les électrons dans des trajectoires en spirale près de la surface cible par interaction entre
champs magnétiques et électriques, augmentant ainsi la probabilité de générer des ions provenant d'électrons frappant l'argon.
Les ions générés frappent alors la surface cible sous l'action du champ électrique et pulvérisent les matériaux cibles.
Fonctionnalités
| Modèle | MSC-FF-X—X |
| Type de revêtement | Divers films diélectriques tels que film métallique, oxyde métallique et AIN |
| Plage de température de revêtement | Température normale à 500℃ |
| Taille de la chambre à vide de revêtement | 700mm*750mm*700mm (personnalisable) |
| Vide de fond | < 5×10-septmbar |
| Épaisseur du revêtement | ≥ 10nm |
| Précision du contrôle d'épaisseur | ≤ ±3% |
| Taille maximale du revêtement | ≥ 100mm (personnalisable) |
| Uniformité de l'épaisseur du film | ≤ ±0,5 % |
| Support de substrat | Avec mécanisme de rotation planétaire |
| Matériel cible | 4 × 4 pouces (compatible avec 4 pouces et moins) |
| Source de courant | Les alimentations telles que DC, impulsion, RF, IF et polarisation sont facultatives |
| Gaz de procédé | Ar, N2, O2 |
| Remarque : production personnalisée disponible. | |
Échantillon de revêtement
Étapes du processus
→ Placer le substrat à revêtir dans la chambre à vide ;
→ Aspirer grossièrement ;
→ Allumer la pompe moléculaire, aspirerà vitesse maximale, puis allumez la révolution et la rotation ;
→ Chauffer la chambre à vide jusqu'à ce que la température atteignecible;
→ Mettre en œuvre le contrôle de température constante ;
→ Nettoyer les éléments ;
→ Tourner et revenir à l'origine ;
→ Film de revêtement selon les exigences du processus ;
→ Baisser la température et arrêter le groupe pompe après revêtement ;
→ Arrêtez de travailler lorsquel'opération automatique est terminée.
Nos avantages
Nous sommes fabricant.
Processus mature.
Réponse dans les 24 heures ouvrables.
Notre certification ISO
Certaines parties de nos brevets
Parties de nos récompenses et qualifications de R&D
Nos produits sont vendus dans le monde entier. Vous pouvez être assuré de l'ensemble du processus de nos produits.
