Détecteur de défaut de surface du panneau d'affichage
Applications
Pour le contrôle des processus et la gestion du rendement de la fabrication des panneaux d'affichage, nous pouvons aider les fabricants à
identifier et surveiller les défauts du masque, réduire le risque de rendement et améliorer leur capacité indépendante de R&D pour
technologies de base.
Principe de fonctionnement
L'objectif télécentrique 4x, la lumière annulaire à angle spécifique et la source de lumière coaxiale sont sélectionnés comme approche visuelle pour
localiser automatiquement les positions des défauts, de manière à détecter automatiquement les défauts sur la surface du masque.
Fonctionnalités
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Modèle |
SDD-DP-X—X | |
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Détection des performances |
Type de défaut détectable | Rayures, Poussières |
| Taille de défaut détectable | 1μm | |
| Précision de détection (mesurée) |
100% détection des défauts / collecte des défauts(rayures, poussière) |
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| Efficacité de détection |
≤10 minutes (Valeur mesurée : 350mm x 300mm Masque) |
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Performances du système optique |
Résolution | 1,8 μm |
| Grossissement | 40x | |
| Champ de vision | 0,5 mm x 0,5 mm | |
| Eclairage lumière bleue | 460nm, 2.5w | |
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Performances de la plateforme de mouvement
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Mouvement à deux axes X, Y Planéité du plan de travail en marbre : 2,5 μm Précision de faux-rond dans la direction Z de l'axe Y : ≤ 10,5 μm Précision de faux-rond dans la direction Z de l'axe Y : ≤ 8,5 μm |
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| Remarque : production personnalisée disponible. | ||
Images de détection
Nos avantages
Nous sommes fabricant.
Processus mature.
Réponse dans les 24 heures ouvrables.
Notre certification ISO
Certaines parties de nos brevets
Parties de nos récompenses et qualifications de R&D
Nos produits sont vendus dans le monde entier. Vous pouvez être assuré de l'ensemble du processus de nos produits.
