Détecteur de défaut de surface du matériau de semi-conducteur
Applications
Pour la gestion à régulation de processus et de rendement du masque vide dans les domaines de l'affichage de semi-conducteur et
fabrication de puce de circuit intégré, nous employons des technologies de essai optiques de sortie élevée pour rendre rapide et
détection automatique précise pour les défauts extérieurs du masque vide. Selon des besoins de l'utilisateur professionnels,
nous avons développé la série de sortie élevée MASQUONS des machines d'inspection avec la qualité fiable et le coût élevé
rapport de représentation, pour aider les fabricants en verre de substrat, de masque et de panneau à identifier et surveiller le masque
les défauts, réduisent le risque de rendement et améliorer leur capacité indépendante de R&D pour des technologies de base.
Principe de fonctionnement
Quant au niveau et au type du défaut extérieur, de la lentille 4x telecentric, de la lumière spécifique d'anneau d'angle et de lumière coaxiale
la source sont choisies comme approche visuelle. Quand le dispositif fonctionne, l'échantillon se déplace le long du X
la direction et le module de vision effectue la détection de défaut le long de la direction de Y.
Caractéristiques
| Modèle | SDD0.5-0.5 | |
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Détection de représentation |
Type décelable de défaut | Les éraflures, époussette |
| Taille décelable de défaut | 1μm | |
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Exactitude de détection (mesuré) |
détection 100% des défauts/collection de défauts (éraflures, poussière) |
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| Efficacité de détection |
minutes ≤10 (Valeur mesurée : masque de 350mm x de 300mm) |
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Performances système optiques |
Résolution | 1.8μm |
| Rapport optique | 40x | |
| Champ visuel | 0.5mm x 0.5mm | |
| Illumination légère bleue | 460nm, 2.5w | |
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Représentation de plate-forme de mouvement
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X, mouvement biaxial de Y Planéité de marbre de partie supérieure du comptoir : 2.5μm Précision de fin de bande de Z-direction d'axe des y : ≤ 10.5μm Précision de fin de bande de Z-direction d'axe des y : ≤8.5μm
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| Note : Production adaptée aux besoins du client disponible. | ||
Images de détection
Nos avantages
Nous sommes fabricant.
Processus mûr.
Réponse dans un délai de 24 heures de travail.
Notre certification d'OIN
Parties de nos brevets
Parties de nos récompenses et qualifications de R&D
Nos produits sont vendus dans le monde entier. Vous pouvez être assuré de l'ensemble du processus de nos produits.
